概述 便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。 本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的際及家標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定*。 它主要由電器測量份（主機(jī)）及四探頭組成，需要時可加配測試架。 為減小體積，本儀器用同塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由精寬的恒流源提供，隨時可行校準(zhǔn)，以確保電阻率測量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來分材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1～100Ω•cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量瓿差不過±3%，在此范圍內(nèi)達(dá)到家標(biāo)準(zhǔn)機(jī)的水平。 測量范圍： 可測量 電阻率：0.01～199.9Ω•cm。 可測方塊電阻：0.1～1999Ω/口 當(dāng)被測材料電阻率≥200Ω•cm數(shù)字表顯示0.00。 （2）恒流源： 輸出電流：DC 0.1mA～10mA分兩檔 10mA量程：0.1～1mA 連續(xù)可調(diào) 10mA量程：1mA ～10mA連續(xù)可調(diào) 恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1% 適合測量各種厚度的硅片 （3） 直流數(shù)字電壓表 測量范圍：0～199.9mv 靈敏度：100μv 準(zhǔn)確度：0.2%（±2個字） （4） 供電電源： AC：220V ±10% 50/60HZ 率8W （5） 使用環(huán)境： 相對濕度≤80% （6） 重量、體積 重量：2.2 公斤 體積：寬210×100×深240（mm） （7）KD探針頭 壓痕直徑：30/50μm 間距：1.00mm 探針合力：8±1N 針材：TC