術(shù)參數(shù)
抽氣及排氣速度(升/分):60
泵體作溫度(℃):<60
限壓力:真空壓力 200Mbar(0.08Mpa)
正壓力 40 Psi
噪音(DB):<55
氣及出氣口孔徑 (mm):Ф6
外形尺寸 (mm):282×155×210
機(jī)率(W):160
機(jī)重量(Kg):9
作環(huán)境溫度(℃):7--40
氣室:氟倫噴涂處理